磊晶 CVD

1 item

• 

  磊晶製程特氣排氣與粉塵處理

  磊晶與 CVD 製程排氣含腐蝕性氣體與反應副產物粉塵，以耐蝕管路、乾式吸附與安全排放流程處理，確保管路不阻塞、維護可管。

  Continue reading