切割開槽

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  晶圓切割與雷射開槽粉塵抑制

  切割與雷射開槽產生大量細微矽粉與膠帶碎屑，於機台內部建立負壓捕集，避免粉塵外逸至潔淨走道並延長設備保養週期。

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